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真空系统介绍及其系统结构组成

2020-11-20 09:50:18

    真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼,真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备,它不见得有一些诸如散热器,冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。真空应用设备种类繁多,但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个简单的真空抽气系统。

    那么真空系统相比较于机组来说有多少泵组成呢?这个是不确定的,先来认识一下可能存在的泵的名词解释。

    (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

    (2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

    (3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

    (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

    1、真空机组的构成与分类

    真空机组一般由下列元件构成:各种真空泵;真空测量装置;真空阀门;真空管道和一些其它元件,例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

    立式环保型真空机组按机组的工作压力分,有粗真空机组(>1330Pa);低真空机组(1330~0.13Pa);高真空机组(0.13~1.3×10-6 Pa);超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa);极高真空机组(<1.2×10-11Pa)。

    2、低真空机组

    低真空机组的主要特点是工作压力高,排气量大,但抽速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大,工作压力较高的真空输送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空干燥等装置中。低真空机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵、油蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。使用低真空机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度等工艺要求,配置除尘器、干燥过虑器等元件。

    3、高真空机组

    ①选好主泵,主泵有扩散泵、分子泵,溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

    ②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)。

    

真空机组


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